ASML Holding

ASM International과 Philips가 1984년 반도체 제조장비 합작회사로 설립했다. 두 회사 가운데 ASM International은 Philips에서 분사한 반도체 제조장비 기업이었다.

사명 ASML은 ‘ASM Lithography’의 약어에서 유래했으며, 회사는 1988년 독립했지만 Philips가 일부 지분을 계속 보유했다. 2012년 Intel은 EUV 공정 개발을 위해 지분 15%를 인수하며 41억달러를 투자했고, TSMC와 삼성전자도 비슷한 이유로 지분을 투자했다.

이후 EUV 장비 개발과 출하를 이어가며 2017년 한 해 12대를 출하했다.

광학 노광 장비 시장에서 EUV 장치를 독점하고, 기술적 난점이 큰 공정을 상용 장비로 공급한다는 점이 다른 제조장비 기업과 구분되는 지점이다.

대표 사업은 감광 물질이 코팅된 실리콘 웨이퍼에 광학적 이미징으로 패턴을 만드는 포토리소그래피 장비이다. 이 장비는 집적회로 패턴을 그리는 데 사용하며, 한 장의 웨이퍼에서 같은 절차를 수십 번 반복한다.

제품군 가운데 기술적 난점이 큰 극자외선 노광 장치는 ASML이 독점하는 분야이다. 회사는 EUV 장비를 상용 출하했으며 2017년 한 해 12대를 출하했다.

이러한 장비 사업은 반도체 리소그래피 공정 장치 시장에서 2010년 67% 점유율을 기록했다.

ASML은 EUV 노광 장치를 독점하는 기업으로 알려져 있으며 Veldhoven에 본사를 둔다. 1988년 독립한 뒤에도 Philips가 일부 지분을 보유한 구조였다.

2012년 Intel이 지분 15%를 인수했고 TSMC와 삼성전자도 EUV 공정 개발을 이유로 지분을 투자했다. 2019년 중국 수출 제한 보도에 대해 회사는 미국 정부의 차단이 아니라 네덜란드 정부의 수출허가를 기다리는 상황이라고 답변했다.